科技部 863新材料“大尺寸超高纯铝靶材”项目申请
作者:佚名
来源:科学网 www.sciencenet.cn
日期：2008-5-11 10:21:26
【阅读：次】
[中科部落-www.buloli.com-文章ID:37146]
探索文章录入：admin 责任编辑：admin
据科技部网站消息：物理气相沉积（PVD）是半导体芯片和TFT-LCD生产过程中最关键的工艺之一，PVD用溅射金属靶材是半导体芯片生产及TFT-LCD制备加工过程中最重要的原材料之一，溅射金属靶材中用量最大的是超高纯铝和超高纯净铝合金靶材。研发具有自主知识产权的大尺寸超高纯铝靶材的制造关键技术，开发出满足半导体行业及TFT-LCD产业需求的超高纯铝靶材产品，对于我国相关产业的发展具有重要意义。
为公正、公平、公开地选择项目承担单位，充分调动相关企业、科研院所及高等院校的积极性，集成全国在铝的精炼提纯、大尺寸铝板形变加工及溅射金属靶材专业制备等领域的优势研发力量开展本项目的工作，科技部特此发布《国家高技术研究发展计划（863计划）新材料技术领域“大尺寸超高纯铝靶材的制造技术”重点项目申请指南》。
详情请见：国家高技术研究发展计划（863计划）新材料技术领域“大尺寸超高纯铝靶材的制造技术”重点项目申请指南
- 上一篇探索文章： 美宇航局推迟哈勃望远镜太空维修任务
- 下一篇探索文章： 我国最大的动臂塔式起重机研制成功
与 科技部 863新材料“大尺寸超高纯铝靶材”项目申请相关的新闻有：
- 45天平腹作战计划[2008-5-11 10:35:38]
- 细腰瘦腹十大独门妙计[2008-5-11 10:35:37]
- 简单伸展操 避免下巴胖胖[2008-5-11 10:35:24]
- 20分钟拥有芭比娃娃脸[2008-5-11 10:35:24]
- 运动减肥时期需要补充的维生素[2008-5-11 10:35:17]
- 盘点6种最有效的营养瘦身食谱[2008-5-11 10:34:51]
- 宵夜也瘦身 低卡是关键[2008-5-11 10:34:45]
- 国外流行的夏日瘦身沙拉[2008-5-11 10:34:25]
- 芹菜这样吃瘦身又美白[2008-5-11 10:34:25]
- 黄瓜+鸡蛋7天刮掉10斤肥肉[2008-5-11 10:34:12]
| 关于〖科技部 863新材料“大尺寸超高纯铝靶材”项目申请〗的最新评论： |